ISO洁净室标准

分级

最高浓度极限/（颗粒数/m3）

近似对应

传统规格

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1.0μm

5.0μm

ISO 1级

10

2

ISO 2级

100

24

10

4

ISO 3级

1000

237

102

35

8

1级

ISO 4级

10000

2370

1020

352

83

10级

ISO 5级

100000

23700

10200

3520

832

29

100级

ISO 6级

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000级

ISO 7级

352000

83200

2930

10000级

ISO 8级

3520000

832000

29300

100000级

ISO 9级

35200000

8320000

293000